MAF-M 系列 | 高清洁传送系统 Pre-Aligner

日期：2023/6/24 20:08:00 / 阅读： / 来源：本站

  

      支持高速化合物，玻璃制品边缘保持式，采用不接触背面方式，将晶圆的颗粒物污染控制在最小。一款适用φ300mm晶圆的机械嵌校准器。

  产品特点

  也可以支持化合物半导体及玻璃晶圆（请另行咨询）。

  只接触晶圆的边缘，实现了清洁定位的概念。

  自动识别晶圆的V形切口及定向平面，省略了上级控制器的设定。

  内置型控制器的紧凑设计。

  Specification

作者：admin

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