MTQ 系列 | 伺服电机自由访问型智能机器人 Atmospheric Robot
日期：2023/6/24 20:16:11 / 阅读： / 来源：本站
伺服电机自由访问型智能机器人，本产品是对应直径300mm晶圆的智能传送机器人。是龙云产品中事先告诉传送，高清洁的旗舰版。
产品特点
以无导轨方式对应3FOUP。
通过替换装置，实现了晶圆的高速替换。
可以有偿选择映射传感器。
R・T与Z轴可分离的构造，让日常的保养更简单。可以对应大行程的升降高度。
提升机械臂的刚性，也为您准备了传送450mm晶圆的机型。
Specification
作者：admin