伺服电机一般环境用清洁机器人，本制品是应对EFEM开发的低价格，高性能智能传送机器人。是龙云产品中事先高速传送，高清洁的旗舰版。

  产品特点

  对应SEMI F47

  与常规机相比，提高了零件?规格的共通率，实现了低价位

  独自的高速替换系统，晶片的替换时间消减了50%。

  采用了新的控制系统，动作更高速平稳。

  与常规机相比运行范围缩小了15%，调节器的容积缩小了50%。

  可对应2FOUP无导轨。可装映射传感器。

  Specification